环氧乙烷灭菌对人体是否有害取决于其残留量，少量残留一般无害，大量残留可能有致癌的风险。

环氧乙烷本身属于一种致癌物质，如果在环氧乙烷灭菌后仍有较高的残留量，则表明存在一定的安全隐患。该物质可通过皮肤或黏膜被机体吸收，并且还可能会对中枢神经系统造成损害，导致头晕、头痛等症状出现。此外，环氧乙烷还可诱发肺水肿的发生，严重者甚至会出现窒息的情况。

因此，在环氧乙烷灭菌后需要进行充分的通风处理，以降低其对人体的危害。

若使用不合格的环氧乙烷消毒设备，或者操作不当，可能导致消毒不彻底，进而引起二次污染，增加感染风险。

在使用环氧乙烷进行灭菌时，应严格遵守操作规程，并确保使用的消毒设备符合标准。同时还要注意做好个人防护措施，避免直接接触环氧乙烷气体，以减少潜在风险。